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真空蒸着装置

[ULVAC:VPC-1100]

スパッタリング装置

[ULVAC:RFS-200]

3元蒸着装置

[TOKUDA:CFS-4ES]

電子ビーム蒸着装置

[SHOWA:SEC-06T]

 

ソーラーシミュレータ

[WACOM:XD-301]

2ゾーン電気炉

[ADVANTEC:KT-1053P]

高速加熱処理装置

[ALVAC:TPC-1000]

走査プローブ顕微鏡

[SHIMADZU:SPM-9500J3]

分光分析装置

[SHIMADZU:UV-3100]